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真空镀膜设备与罗茨真空泵机组

真空镀膜设备与罗茨真空泵机组——汇成真空

      真空镀膜设备与罗茨真空泵机组——汇成真空

      真空镀膜设备用罗茨真空泵机组的基本参数指的是机组的抽气速率、配用功率、极限压力等。抽气速率就是组成各机组的主泵的名义抽气速率，机组的配用功率即组成该机组的所有单泵的配用功率之和，各类机组的基本参数详见下表。

序号     机组类别     前类型     极限压力Pa     抽气速率L/s     配用功率kw

1     二级罗茨液环真空机组     单级水环真空泵     ≤300     组成各机组的主泵的名义抽气速率     组成该机组的所有单泵的配用功率之和

双级水环真空泵     ≤300

单级油环真空泵     ≤100

双级油环真空泵     ≤80

2     二级罗茨滑阀（旋片）真空机组     单级滑阀真空泵     ≤1*

单级旋片真空泵     ≤1*

双级滑阀真空泵     ≤2*

双级旋片真空泵     ≤2*

3     二级罗茨往复真空机组     往复真空泵     ≤300

4     二级气冷式罗茨真空机组     气冷式罗茨真空泵焊台     ≤3000

5     二驱动马达级罗茨水环大气喷射泵机组     单级水环真空泵     ≤40

双级水环真空泵     ≤40

6     三级罗茨液环真空机组     单级水环真空泵     ≤40

双级水环真空泵     ≤40

单级油环真空泵     ≤2

双级油环真空泵     ≤1

7     三级罗茨人们经过操作台可以控制实验机的运作滑阀（旋片）真空机组     单级滑阀真空泵     ≤2*

单级旋片真空泵     ≤2*

双级滑阀真空泵     ≤1*

双级旋片真空泵     ≤1*

8     三级罗茨往复真空机组     往复真空真空泵     ≤40

9     三级气冷式罗茨真空机组     气冷式罗茨真空泵     ≤100

10     三级罗茨水环大气喷射泵机组     单级水环真空泵     ≤2

双级水环真空泵     ≤2

11     四级罗茨液环真空履带推土机机组     单级水环真空泵     ≤1

双级水环真空泵     ≤1

单级油环真空泵    完成万吨级工艺包的设计 ≤5*

双极油环真空泵     ≤5*

12     四级罗茨往复真空机组     往复真空泵     ≤2

13     四级罗茨滑阀（旋片）真空机组     单级滑阀真空泵     ≤1*

单级旋片真空泵     ≤1*

双级滑阀真空泵     ≤8*

双级旋片真空泵     ≤8*

*极限压力是指非板钻可凝性气体的极限分压力

       东莞汇成真空十多年来专业从事各种真空镀膜应用设备制造，不断引进国外先进的真空镀膜设备，多年来致力于研发和生产真空镀膜机，以最新技术不断制造出满足市场需要的真空电镀设备，为客户提供定制化的工艺解决方案和机器。欢迎广大顾客来电咨询，：。

      真空镀膜机--东莞市汇成真空科技有限公司专业真空设备制造商

      、、英文版：.

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